マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用　藤田 博之　工業調査会

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商品名:マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用

ISBN/JAN:9784769371175

発売日: 2003年8月1日

販売元:工業調査会

定価(参考):2,600円(税別)

著者名:藤田 博之

単行本: 232ページ

梱包サイズ: 21 x 14.8 x 1.6 cm

【目次】第1章 マイクロ・ナノ機械の発展の歴史

第2章 マイクロ・ナノ機械の特徴と利点

第3章 マイクロ・ナノ機械の応用分野

第4章 光技術への応用

第5章 バイオ・化学分野への応用

第6章 マイクロ・ナノマシーニング(製作技術)

第7章 マイクロアクチュエータ

【内容】半導体の微細加工技術を利用して、数μmという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。

マイクロマシンからナノ領域に至る微小機械に関する様々な側面をわかりやすく述べる。研究発展の歴史、微小な機械の特徴と利点、微小機械の活躍が期待される分野を解説。ナノテクノロジーとの関係における将来的展開等も言及。

本書は2003年初版第1刷となります。

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