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【マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧】 一般機械小型化
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商品詳細情報
| 管理番号 |
新品 ：62476190946
中古 ：62476190946-1 |
メーカー | aa5d168b800c5 | 発売日 | 2025-05-23 15:31 | 定価 | 3995円 | ||
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| カテゴリ | |||||||||
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第２編 微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
第３編 マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
第４編 マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）