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出版社紹介文
マイクロマシン関係の研究者技術者、情報、電気電子、通信、精密・制御などの大学学部・大学院生などの方々にお勧め
光マイクロマシンの基礎から応用まで、すべてを解説
いろいろな産業分野でマイクロマシンが注目され、実用化の時代に入りつつあり、研究者や実務技術者、学生もマイクロマシンに対する関心が高まっている。
本書は、光マイクロマシンの基礎的な事項から具体的技術、最新の応用まで、全体が理解できるよう解説した。
土日祝日を除くお支払いの当日または翌日に発送します
(悪天候の場合、発送が遅れることがあります)
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【商品到着の翌日までに取引ナビから受取連絡をお願いします】
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新規の方と評価10以下の方、評価に悪いが多い方は、局留めでの発送はしません。
梱包について
ビニールと封筒で梱包します。
緩衝材での梱包をご希望の場合は110円ご負担お願いします(送料が変わる場合があります)。
1部 光マイクロマシン
1章 光スイッチ,ミラーアレイ,減衰器
GLV,MARSスイッチ,DMD応用スイッチなどオンオフMEMSスイッチ/RIEのみで作成したスイッチ/ファイバ,導波路駆動スイッチ/
3Dおよびマトリックスミラーアレイスイッチ/レンズ駆動スイッチ/Siステージスイッチ/マッハ・ツェンダー干渉応用スイッチ/
バブル移動スイッチ/一軸回転ミラー/エバネッセント結合スイッチ/可変光減衰器/その他のMEMSスイッチ/自己保持力と消費電力
2章 ディスプレイ,スキャナ
DMD/GLV応用ディスプレイ/TMA/ミラースキャナ
3章 スペクトロメータ,波長可変光学素子
エタロン応用マイクロ分光装置/フーリエ変換分光応用マイクロ分光装置/回折格子応用マイクロ分光装置/波長可変レーザ,フォトダイオード
4章 アクチュエータ,可動構造体
平行平板電極間静電気力,くし型電極アクチュエータ/EDLAエンジン/スプリング,梁の共振周波数,ばね定数,共振型ミラー/
光アクチュエータ/液体移動/その他のアクチュエータ/可動構造,自己構築アクチュエータ
5章 センシングとセンサ
微小変位の計測/ドップラー,血流量計測/加速度センサ/ボロメータ/生体計測/生物のセンサ/光励起振動子/光ファイバセンサ/
微小信号検出/信号処理/光学膜厚,距離計測/その他の計測
6章 顕微鏡
光学顕微鏡/走査型プローブ顕微鏡
7章 記憶装置
光ピックアップの小型化/光プローブ以外の大容量記録/機構部の位置決め制御/機構部のマイクロマシン化/スーパレンズ/
光導波路型ホログラフィ
8章 光マイクロマシンの設計とシミュレーション
クロスコネクトスイッチ/光学解析例/GLVの例/ミラー制御
1章 光の反射・屈折
光の数学的取り扱いと基本的事項/偏光/反射と屈折/散乱/損失
2章 干渉
2光束干渉/ファブリ-・ペロー干渉計/屈折率変化による波長可変デバイス/外部共振型半導体レーザ/金属膜での反射光と透過光/
マッハ・ツェンダー干渉計/マイケルソン干渉計/広域波長光源を用いた干渉法
3章 回折
回折現象と回折格子の働き/様々な回折格子・回折の数学的取り扱いと回折光制御,回折効率
4章 フリースペース光学
ガウシアンビーム光学/非回折ビーム/MEMSによる波面制御
5章 光放射圧
光トラッピングの原理/レーザマニピュレーション/レーザ冷却
6章 近接場光学
全反射とエバネッセント波/近接場光学の応用/表面プラズモン
3部 材料,ファブリケーションとパッケージング
1章 光学素子
光素子/ファイバ,光導波路/マイクロレンズ/相互作用/下地基板/Si結晶基板および転位/反り/結晶ガラス
2章 ファブリケーション
全般的なプロセス/フォトリソグラフィ/膜堆積技術/導波路構造の作製/エッチング/3次元加工/その他の加工法
3章 表面理工学
表面電荷の影響/スティッキング/MEMSにおける吸着力/ファンデルワールス力/はく離
4章 パッケージング
光コネクタ/表面実装/ボンディング/スルーホール電極/MEMSデバイス封止
付録
光マイクロマシン/製造プロセス